LOD (حد الكشف)
أدنى تركيز يمكن للجهاز التمييز بينه وبين ضوضاء الخلفية بموثوقية.
حد الكشف (LOD) هو الحد الأدنى للتركيز الذي يمكن عندها تحديد المادة المحللة بمستوى ثقة محدد، عادة 3σ فوق الخلفية.
LOD يختلف حسب العنصر والمصفوفة ووقت القياس. العناصر الخفيفة (C، O، N) لها LOD ضعيف في XRF؛ معادن الانتقال في مصفوفات السبائك قابلة للكشف عادةً على مستويات ppm إلى نسب مئوية حسب الكاشف والمعايرة.