Коллиматор
Оптический компонент, который определяет размер пятна рентгеновского луча на поверхности образца.
Коллиматор фокусирует рентгеновский луч на определённый размер точки — обычно 3 мм, 8 мм или больше, в зависимости от анализатора и применения.
Меньшие точки изолируют мелкие элементы (пайочные контакты, включения); большие точки усредняют состав по более широкой области для массового PMI. Анализаторы Specelex предлагают сменные коллиматоры для гибких рабочих процессов."