Kollimator
Optische Komponente, die die Röntgenstrahl-Spotgröße auf der Probenoberfläche definiert.
Ein Kollimator fokussiert den Röntgenstrahl auf eine definierte Spotgröße — typischerweise 3 mm, 8 mm oder größer, je nach Analysator und Anwendung.
Kleinere Spots isolieren kleine Merkmale (Lötpunkte, Einschlüsse); größere Spots mitteln die Zusammensetzung über einen breiteren Bereich für Bulk-PMI. Specelex-Analysatoren bieten austauschbare Kollimatoren für flexible Workflows.