コリメータ

コリメータはX線ビームを規定のスポットサイズに絞ります — 通常3 mm、8 mm、または分析装置と用途によりそれ以上。

小スポットは微小特徴（はんだ接合、介在物）を分離し、大スポットは広い領域の組成を平均化してバルクPMIに使用します。Specelex分析装置は交換可能なコリメータで柔軟なワークフローに対応します。